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静电放电(ESD)对精密电路、磁盘的影响之二

文章出处:未知 │ 网站编辑:admin │ 发表时间:2015-03-10 09:29 我要分享

  二、静电吸附
    在洁净室中因为存在静电,使去除污染变得比较困难。尘粒由于静电的作用总是容易粘到硅片上,导致产品损坏、优率降低。
   我们最大的问题是要找到适合洁净室使用的防静电材料。在LCD行业,玻璃基板的变大,吸引电荷的能力也增强。由于基板的尺寸大,任何污染都可能导致优率降低。
   与其它的污染控制行业一样,LCD行业也一直在寻找能解决ESD问题的新型材料。在洁净室使用的材料也更可能地使用防静电材料,在棉签和抹布上也可以尝试发现新材料来代替传统材料。

   为什么洁净室中没有适合的ESD产品?在过去的35年里,厂商们在提供产品给洁净室使用都时认识到,洁净室中需要ESD产品。但是,寻找能用于洁净室中的ESD产品是个问题。因为很多用于洁净室的ESD产品的性能不够稳定。
   在洁净室中ESD控制的最大难题是人员在洁净室中的走动。因为人穿着大量的聚酯类织物,会产生大量的电荷。在洁净室中去除这种电荷唯一的办法是接地。
   在过去的五年里,人们发现用碳素纤维和织物混合制成的工衣系统能提供适用ISO5Class100)级的洁净室要求。
   此类工衣的各个部位都具有相同的电导率,并且从头罩到脚底都有导电连接。在洁净室中工作的人员穿上此类衣服行走时可以通过导电的鞋底接地而不用通过接地线进行接地,这样就不受接地线的长度限制。
 此类工衣的出现是对产品的高要求的结果,有助于降低洁净室中由于ESD问题而引起的低收率和高坏品率。
  对ESD控制没有便宜快捷的修补方法,关键是对ESD的控制,比如悬挂层流离子风机,或是在需要控制ESD的材料旁安装离子风机。随着芯片(IC)尺寸的减少,对ESD越发敏感。现在,对ESD的控制已不仅仅局限于对工作网络的保护,还需对晶片和生产晶片的人员进行控制。很多高标准要求的公司正在这样对ESD进行控制。
 
 污染控制设备的生产商和工厂相关人员都发现,部分电器制造商并不清楚由于ESD而带来的问题。这些问题也会给洁净室带来更多的污染。电器制造厂家忽视了这些问题。
  最近,半导体光掩膜公司邀请静电专家帮助解决优率问题.直到静电专家到来,厂家才发现光掩膜上的异常是由于ESD引起的污染问题而造成的。在半导体生产中,最大的问题是掩光板上的ESD问题。它会引起微观结构的破坏,从而导致产品失效。
  在电子生产中,ESD产生各种各样的问题。比如腐蚀或金属熔化等。
  静电还会产生静电吸附,将空气中的尘粒吸附在产品,降低产品优率。

 

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